我國電子工業(yè)部高純水水質試行標準
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化學指標單位：μg/L
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序號
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水質項目
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一級高純水指標
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二級高純水指標
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1
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電阻率（25℃）MΩ·cm
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≥15
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≥10
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2
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電導率，μs/cm
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0.05
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0.1
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3
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PH值
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6.8～7.2
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6.6～7.4
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4
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細菌總數，個/mL
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＜3
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＜9
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5
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微粒（直徑＞0.5μm，粒/mL）
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＜150
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＜300
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6
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二氧化硅
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＜10
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＜20
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7
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有機物（以COD計）
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＜0.3
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＜0.5
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8
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鈉 Na
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＜0.5
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＜2
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9
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鐵 Fe
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＜1
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＜2
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10
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銅 Cu
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＜0.5
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＜1
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11
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鈣 Ca
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＜1
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＜3
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12
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鎂 Mg
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＜0.2
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＜1
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13
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鋅 Zn
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＜0.5
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＜1
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14
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錳 Mn
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＜0.2
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＜0.5
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說明：①一級高純水適用于大規(guī)模集成電路，微波器件以及有相同要求到半導體器件產品。
�、诙壐呒兯m用于一般電路，分立器件以及有相同要求的半導體器件產品。
③本表按1980年電子工業(yè)部標準摘錄。 |
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